Физик, химийн лабораторийн тоног төхөөрөмж:
Механик туршилт, цахилгааны туршилт, самбарын анхны үзлэг, туршилт, лабораторийн шинжилгээ.
1. Зэс тугалган цаасны суналт хэмжигч: Энэхүү багаж нь суналтын явцад зэс тугалган суналтын бат бэхийг хэмжихэд хэрэглэгддэг. Энэ нь бүтээгдэхүүний чанар, найдвартай байдлыг хангахын тулд зэс тугалган цаасны бат бөх, бат бөх чанарыг үнэлэхэд тусалдаг.
Зэс тугалган цаасны суналт хэмжигч
Бүрэн автомат ухаалаг давс шүрших туршилтын машин
2. Бүрэн автомат ухаалаг давс шүрших туршилтын машин: Энэ машин нь гадаргуугийн боловсруулалтын дараа хэлхээний хавтангийн зэврэлтэнд тэсвэртэй байдлыг шалгахын тулд давс цацах орчныг дуурайлган хийдэг. Энэ нь бүтээгдэхүүний чанарыг хянах, хатуу ширүүн орчинд тогтвортой ажиллагааг хангахад тусалдаг.
3. Дөрвөн утастай туршилтын машин: Энэ хэрэгсэл нь хэвлэмэл хэлхээний самбар дээрх утаснуудын эсэргүүцэл ба дамжуулалтыг шалгадаг. Энэ нь найдвартай, тогтвортой холболтыг хангахын тулд самбарын цахилгааны гүйцэтгэл, түүний дотор дамжуулалтын гүйцэтгэл, эрчим хүчний зарцуулалтыг үнэлдэг.
Дөрвөн утастай туршилтын машин
4. Эсэргүүцэл шалгагч: хэвлэмэл хэлхээний самбар үйлдвэрлэхэд зайлшгүй шаардлагатай хэрэгсэл юм. Туршиж буй хэлхээгээр дамжин өнгөрөх тогтмол давтамжийн хувьсах гүйдлийн дохиог үүсгэх замаар хэлхээний самбар дээрх эсэргүүцлийн утгыг хэмжихэд ашигладаг. Дараа нь хэмжилтийн хэлхээ нь Ом-ын хууль болон хувьсах гүйдлийн хэлхээний шинж чанарт үндэслэн эсэргүүцлийн утгыг тооцоолно. Энэ нь үйлдвэрлэсэн хэлхээний самбар нь хэрэглэгчийн тогтоосон эсэргүүцлийн шаардлагыг хангаж байгаа эсэхийг баталгаажуулдаг.
Үйлдвэрлэгчид мөн энэ туршилтын процессыг ашиглан процессыг сайжруулж, хэлхээний самбарын эсэргүүцлийн хяналтын чадавхийг сайжруулж болно. Энэ нь өндөр хурдны дижитал дохио дамжуулах болон радио давтамжийн хэрэглээний шаардлагыг хангахад зайлшгүй шаардлагатай.
Импеданс шалгагч
Хэлхээний хавтанг үйлдвэрлэх процессын туршид импедансын туршилтыг янз бүрийн үе шатанд явуулдаг.
1) Дизайн үе шат: Инженерүүд цахилгаан соронзон симуляцийн програм хангамжийг ашиглан хэлхээний самбарыг зохион бүтээж, зохион байгуулдаг. Тэд загвар нь тодорхой шаардлагад нийцэж байгаа эсэхийг баталгаажуулахын тулд эсэргүүцлийн утгыг урьдчилан тооцоолж, дуурайдаг. Энэхүү симуляци нь үйлдвэрлэхээс өмнө хэлхээний самбарын эсэргүүцлийг үнэлэхэд тусалдаг.
2) Үйлдвэрлэлийн эхний үе шат: Прототип үйлдвэрлэх явцад эсэргүүцлийн утга нь хүлээлттэй нийцэж байгаа эсэхийг шалгахын тулд эсэргүүцлийн туршилтыг хийдэг. Эдгээр үр дүнд үндэслэн үйлдвэрлэлийн процесст тохируулга хийж болно.
3) Үйлдвэрлэлийн үйл явц: Олон давхаргат хэлхээний хавтанг үйлдвэрлэхдээ зэс тугалган зузаан, диэлектрик материалын зузаан, шугамын өргөн гэх мэт параметрүүдийг хянахын тулд чухал цэгүүдэд эсэргүүцлийн туршилтыг хийдэг. Энэ нь эцсийн эсэргүүцлийн утга нь дизайны шаардлагад нийцэж байгааг баталгаажуулдаг.
4) Бэлэн бүтээгдэхүүний үзлэг: Үйлдвэрлэсний дараа хэлхээний самбар дээр эцсийн эсэргүүцлийн туршилтыг хийдэг. Энэ нь үйлдвэрлэлийн процессын туршид хийгдсэн хяналт, тохируулга нь эсэргүүцлийн утгын дизайны шаардлагыг үр дүнтэй хангаж байгааг баталгаажуулдаг.
5. Эсэргүүцэл багатай туршилтын машин: Энэ машин нь хэлхээний самбар дээрх утас болон контактын цэгүүдийн эсэргүүцлийг шалгаж, дизайны шаардлагыг хангаж, бүтээгдэхүүний чанар, гүйцэтгэлийг баталгаажуулдаг.
Бага эсэргүүцэлтэй туршилтын машин
Нисдэг датчик шалгагч
6. Нисдэг датчик шалгагч: Нисдэг датчик шалгагч нь үндсэндээ хэлхээний хавтангийн тусгаарлагч ба цахилгаан дамжуулах чанарыг шалгахад ашиглагддаг. Энэ нь туршилтын явцыг хянаж, алдаа оноог бодит цаг хугацаанд илрүүлж, үнэн зөв туршилтыг баталгаажуулах боломжтой. Нисдэг датчикийн туршилт нь жижиг, дунд хэмжээний хэлхээний хавтанг туршихад тохиромжтой, учир нь туршилтын бэхэлгээний хэрэгцээг арилгаж, үйлдвэрлэлийн хугацаа, зардлыг бууруулдаг.
7. Бэхэлгээний багаж шалгагч: Нисдэг датчикийн туршилтын нэгэн адил туршилтын тавиурын туршилтыг дунд болон том хэлхээний самбарын туршилтанд ихэвчлэн ашигладаг. Энэ нь олон туршилтын цэгийг нэгэн зэрэг турших боломжийг олгож, туршилтын үр ашгийг эрс сайжруулж, туршилтын хугацааг багасгадаг. Энэ нь үйлдвэрлэлийн шугамын нийт бүтээмжийг нэмэгдүүлж, үнэн зөв, дахин ашиглах боломжтой болгодог.
Гараар бэхэлгээний хэрэгсэл шалгагч
Автомат бэхэлгээний хэрэгсэл шалгагч
Бэхэлгээний хэрэгслийн дэлгүүр
8. Хоёр хэмжээст хэмжих хэрэгсэл: Энэ хэрэгсэл нь гэрэлтүүлэг болон гэрэл зургийн тусламжтайгаар объектын гадаргуугийн зургийг авдаг. Дараа нь тухайн объектын талаарх геометрийн мэдээллийг олж авахын тулд зургийг боловсруулж, өгөгдөлд дүн шинжилгээ хийдэг. Үр дүнг нүдээр харуулах бөгөөд операторуудад объектын хэлбэр, хэмжээ, байрлал болон бусад шинж чанарыг ажиглаж, нарийн хэмжих боломжийг олгодог.
Хоёр хэмжээст хэмжих хэрэгсэл
Шугамын өргөнийг хэмжих хэрэгсэл
9. Шугамын өргөн хэмжих хэрэгсэл: Шугамын өргөн хэмжих хэрэгсэл нь хэвлэмэл хавтангийн хагас боловсруулсан бүтээгдэхүүний боловсруулалт, сийлбэрийн дараа дээд доод өргөн, талбай, өнцөг, тойргийн диаметр, тойргийн төвийн зай болон бусад үзүүлэлтүүдийг хэмжихэд ашиглагддаг. (гагнуурын маскын бэхийг хэвлэхээс өмнө). Энэ нь хэлхээний самбарыг гэрэлтүүлэхийн тулд гэрлийн эх үүсвэрийг ашигладаг бөгөөд оптик олшруулалт болон CCD фотоэлектрик дохионы хувиргалтаар дүрсний дохиог авдаг. Дараа нь хэмжилтийн үр дүнг компьютерийн интерфэйс дээр харуулснаар зураг дээр дарж нарийвчлалтай, үр дүнтэй хэмжилт хийх боломжтой болно.
10. Цагаан тугалганы зуух: Цагаан тугалганы зуух нь гагнуурын холболтын чанар, найдвартай байдлыг хангах, хэлхээний хавтангийн гагнуурын болон дулааны цохилтын эсэргүүцлийг шалгахад ашиглагддаг.
Гагнуурын тест: Энэ нь хэлхээний хавтангийн гадаргууг найдвартай гагнуурын холбоос үүсгэх чадварыг үнэлдэг. Энэ нь гагнуурын материал ба хэлхээний хавтангийн гадаргуу хоорондын холболтыг үнэлэхийн тулд контактын цэгүүдийг хэмждэг.
Дулааны цочролын эсэргүүцлийн туршилт: Энэ туршилт нь өндөр температуртай орчинд температурын өөрчлөлтөд хэлхээний самбарын эсэргүүцлийг үнэлдэг. Энэ нь дулааны цохилтын эсэргүүцлийг үнэлэхийн тулд хэлхээний самбарыг өндөр температурт хүргэж, бага температурт хурдан шилжүүлэх явдал юм.
11. Рентген туяа шалгах машин: Рентген туяаны хяналтын машин нь задлах шаардлагагүй, гэмтэл учруулахгүйгээр хэлхээний самбарыг нэвтлэх чадвартай бөгөөд ингэснээр болзошгүй зардал, эвдрэлээс зайлсхийх боломжтой. Энэ нь бөмбөлөгний нүх, нээлттэй хэлхээ, богино холболт, гэмтэлтэй шугам зэрэг хэлхээний самбар дээрх согогийг илрүүлэх боломжтой. Тоног төхөөрөмж нь бие даан ажиллаж, материалыг автоматаар ачих, буулгах, хэвийн бус байдлыг илрүүлэх, дүн шинжилгээ хийх, тодорхойлох, автоматаар тэмдэглэгээ хийх, шошголох зэргээр үйлдвэрлэлийн үр ашгийг дээшлүүлдэг.
Рентген туяаны хяналтын машин
Бүрээсний зузаан хэмжигч
12. Бүрээсний зузаан хэмжигч: Хэлхээний хавтанг үйлдвэрлэх явцад цахилгаан дамжуулах чанар, зэврэлтээс хамгаалах чадварыг нэмэгдүүлэхийн тулд янз бүрийн бүрээсийг (тухайлбал, цагаан тугалга, алтаар бүрэх гэх мэт) ихэвчлэн хэрэглэдэг. Гэсэн хэдий ч зохисгүй бүрхүүлийн зузаан нь гүйцэтгэлийн асуудалд хүргэдэг. Бүрээсний зузаан хэмжигч нь хэлхээний хавтангийн гадаргуу дээрх бүрхүүлийн зузааныг хэмжихэд ашиглагддаг бөгөөд энэ нь дизайны шаардлагад нийцэж байгаа эсэхийг баталгаажуулдаг.
13. ROHS хэрэгсэл: Хэвлэмэл хэлхээний самбар үйлдвэрлэхэд ROHS хэрэгслийг материал дахь хортой бодисыг илрүүлэх, шинжлэхэд ашигладаг бөгөөд ROHS удирдамжийн шаардлагыг дагаж мөрддөг. Европын Холбооноос хэрэгжүүлдэг ROHS заавар нь хар тугалга, мөнгөн ус, кадми, зургаан валент хром болон бусад электрон болон цахилгаан тоног төхөөрөмжид аюултай бодисуудыг хязгаарладаг. ROHS багажийг эдгээр хортой бодисын агуулгыг хэмжихэд ашигладаг бөгөөд хэвлэмэл хэлхээний самбарыг үйлдвэрлэх явцад ашигласан материал нь ROHS удирдамжийн шаардлагыг хангаж, бүтээгдэхүүний аюулгүй байдал, хүрээлэн буй орчныг хамгаалдаг.
ROHS хэрэгсэл
14. Металлографийн микроскоп: Металлографийн микроскопыг үндсэндээ дотоод болон гадна давхаргын зэсийн зузаан, цахилгаанаар бүрсэн гадаргуу, цахилгаанаар бүрсэн нүх, гагнуурын маск, гадаргуугийн боловсруулалт, диэлектрик давхарга бүрийн зузааныг хэрэглэгчийн техникийн шаардлагад нийцүүлэн судлахад ашигладаг.
Микроскопийн хэсгийн дэлгүүр
Микроскопийн хэсэг 1
Микроскопийн хэсэг 2
Нүхний гадаргуугийн зэс шалгагч
15. Нүхний гадаргуугийн зэс шалгагч: Энэхүү багаж нь хэвлэмэл хэлхээний хавтангийн нүхэнд байгаа зэс тугалган цаасны зузаан, жигд байдлыг шалгахад хэрэглэгддэг. Зэсийн бүрээсийн зузаан эсвэл тогтоосон хязгаараас хазайлтыг цаг алдалгүй илрүүлснээр үйлдвэрлэлийн процесст цаг тухайд нь тохируулга хийх боломжтой.
16. Automated Optical Inspection гэсэн үгийн товчлол AOI Scanner нь электрон эд анги, бүтээгдэхүүнийг автоматаар таних оптик технологийг ашигладаг нэг төрлийн төхөөрөмж юм. Түүний үйл ажиллагаа нь өндөр нарийвчлалтай камерын системийг ашиглан шалгаж буй объектын гадаргуугийн зургийг авах явдал юм. Дараа нь дүрсийг шинжлэх, харьцуулахын тулд компьютерийн дүрс боловсруулах технологийг ашигладаг бөгөөд энэ нь зорилтот объектын гадаргуугийн согог, гэмтлийн асуудлыг илрүүлэх боломжийг олгодог.
AOI сканнер
17. ПХБ-ийн харагдах байдлыг шалгах машин нь хэлхээний хавтангийн харааны чанарыг үнэлэх, үйлдвэрлэлийн согогийг илрүүлэх зориулалттай төхөөрөмж юм. Энэхүү машин нь өндөр нарийвчлалтай камер, гэрлийн эх үүсвэртэй бөгөөд ПХБ-ийн гадаргууг сайтар шалгаж, зураас, зэврэлт, бохирдол, гагнуурын асуудал гэх мэт янз бүрийн согогийг илрүүлдэг. Ерөнхийдөө энэ нь том хэмжээний ПХБ-ийн багцыг удирдах, зөвшөөрөгдсөн болон татгалзсан хавтангуудыг ялгах автомат тэжээл, буулгах системийг агуулдаг. Зургийг боловсруулах алгоритмыг ашигласнаар илэрсэн согогийг ангилж, тэмдэглэж, засах, арилгахад хялбар, илүү нарийвчлалтай болгодог. Автоматжуулалт, дүрс боловсруулах дэвшилтэт чадавхийн ачаар эдгээр машинууд хяналт шалгалтыг хурдан хийж, бүтээмжийг нэмэгдүүлж, зардлыг бууруулдаг. Цаашилбал, тэд шалгалтын үр дүнг хадгалж, чанарын хяналт, үйл явцыг сайжруулахын тулд нарийвчилсан тайлан гаргаж, эцэст нь бүтээгдэхүүний чанарыг дээшлүүлж чадна.
Гадаад төрхийг шалгах машин 1
Гадаад төрхийг шалгах машин 2
Гадаад үзэмжийн шалгалтын согогийг тэмдэглэсэн
ПХБ-ийн бохирдлыг шалгагч
18. ПХБ-ийн ионы бохирдлыг шалгагч нь хэвлэмэл хэлхээний самбар (ПХБ) дахь ионы бохирдлыг тодорхойлоход ашигладаг тусгай хэрэгсэл юм. Электроникийн үйлдвэрлэлийн явцад ПХБ-ийн гадаргуу эсвэл самбар дотор ионууд байгаа нь хэлхээний ажиллагаа болон бүтээгдэхүүний чанарт ихээхэн нөлөөлдөг. Иймээс ПХБ-ийн ионы бохирдлын түвшинг нарийн үнэлэх нь электрон барааны чанар, найдвартай байдлыг баталгаажуулахад маш чухал юм.
19. Хүчдэлийн тусгаарлагчийн туршилтын машин нь тусгаарлагчийн материал болон хэлхээний хавтангийн бүтцийн зохион байгуулалт нь стандарт үзүүлэлтэд нийцэж байгаа эсэхийг баталгаажуулахын тулд тусгаарлагчийг тэсвэрлэх хүчдэлийн туршилтыг явуулахад ашигладаг. Энэ нь хэвийн ажиллагааны нөхцөлд хэлхээний самбарыг тусгаарлаж, аюултай осолд хүргэж болзошгүй тусгаарлагчийн эвдрэлээс сэргийлдэг. Туршилтын үр дүнд дүн шинжилгээ хийснээр хэлхээний самбартай холбоотой аливаа асуудлыг цаг алдалгүй илрүүлж, самбарын зохион байгуулалт, тусгаарлагчийн бүтцийг сайжруулахад чиглүүлж, чанар, гүйцэтгэлийг нэмэгдүүлэх болно.
Хүчдэл тусгаарлагчийн туршилтын машин
Хэт ягаан туяаны спектрофотометр
20. Хэт ягаан туяаны спектрофотометр: Хэт ягаан туяаны спектрофотометрийг хэлхээний самбарт хэрэглэсэн гэрэл мэдрэмтгий материалын гэрэл шингээх шинж чанарыг хэмжихэд ашигладаг. Эдгээр материалууд, ихэвчлэн хэвлэмэл хэлхээний самбар үйлдвэрлэхэд ашигладаг фоторезистүүд нь самбар дээр хэв маяг, шугам үүсгэх үүрэгтэй.
Хэт ягаан туяаны спектрофотометрийн функцууд нь:
1) Фоторезистийн гэрлийн шингээлтийн шинж чанарыг хэмжих: Хэт ягаан туяаны спектрийн муж дахь фоторезистийн шингээлтийн шинж чанарыг шинжлэх замаар хэт ягаан туяа шингээлтийн зэргийг тодорхойлж болно. Энэхүү мэдээлэл нь фотолитографийн үед түүний гүйцэтгэл, тогтвортой байдлыг хангахын тулд фоторезистийн найрлага, бүрэх зузааныг тохируулахад тусалдаг.
2) Фотолитографийн өртөлтийн параметрүүдийг тодорхойлох: Фоторезистийн гэрлийн шингээлтийн шинж чанарын шинжилгээгээр фотолитографийн өртөлтийн хамгийн оновчтой параметр болох өртөх хугацаа, гэрлийн эрчмийг тодорхойлж болно. Энэ нь хэлхээний самбараас фоторезист дээр хэв маяг, шугамыг үнэн зөв хуулбарлах боломжийг олгодог.
21. рН хэмжигч: Хэлхээний самбарыг үйлдвэрлэх явцад даршилж, шүлтээр цэвэрлэх зэрэг химийн боловсруулалтыг ихэвчлэн ашигладаг. Эмчилгээний уусмалын рН-ийн утгыг зохих хязгаарт байлгахын тулд рН хэмжигчийг ашигладаг. Энэ нь химийн боловсруулалтын үр нөлөө, гүйцэтгэл, тогтвортой байдлыг баталгаажуулж, улмаар бүтээгдэхүүний чанар, найдвартай байдлыг сайжруулж, үйлдвэрлэлийн аюулгүй орчинг бүрдүүлдэг.
